Полное описание

Хмелев, А. Т. Разработка и реализация метода резки кремния на пластины с упругим закреплением слитка : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. Т. Хмелев. - М., 1991. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 18-19(8 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР91-03478)

Шифр в сводном ЭК: 767797eae0f188d9f60627bd4c04305e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа