Полное описание

Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. / Моск. гос. ин-т электрон. техники (ТУ) ; под ред. В. И. Каракеяна. - М. : МИЭТ, 2010. - 195 с. : ил. - Библиогр. в конце отд. ст. - 60 экз. - ISBN 978-5-7256-0612-6. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
87.15.15	504.5

Рубрики:
Окружающая среда -- Загрязнение и защита от него

Аннотация: Представлены результаты исследований по проблемам контроля технологий, веществ, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике. Основное внимание уделено проблемам мониторинга окружающей среды, созданию и исследованию приборов контроля различных сред.
Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.\ред.\
Московский гос. ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-10/78052)

Шифр в сводном ЭК: 748d243c1d29f94d5e2202ccaea231b9

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽