Полное описание

Шаповалов, В. И. Основы вакуумной и плазменной технологии. Газовый разряд : конспект лекций / В. И. Шаповалов ; С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. - СПб. : ЛЭТИ, 2016. - 74 с. : ил. - (Учебное пособие). - Библиогр.: с. 73 (7 назв.). - 45 экз. - ISBN 978-5-7629-1835-0. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.03.03	621.38.01

Рубрики:
Физическая электроника

Доп. точки доступа:
Санкт-Петербургский гос. электротехнический ун-т

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-16/39582)

Шифр в сводном ЭК: 747180d4a5f373867b031bd01ba8de82

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽