Полное описание

Королев, М. А. Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / М. А. Королев. - М., 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.:с. 39-47(61 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.001.2(043)
47.14.07

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-011089)

Шифр в сводном ЭК: 73877287fafb12056131c16f1e1b7ae4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽