Полное описание

Laser microfabrication : thin film processes and lithography / Ed.: D. J. Ehrlich, J. Y. Tsao ; сост.ed. D. J. Ehrlich, сост.ed. J. Y. Tsao. - Boston, Ma [etc.] : Acad.press, 1989. - XII, 587 p. 587 p. : ill. - ISBN 0-12-233430-2. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст. Указ.: с. 581-587

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002:621.373.826

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
Ehrlich, D.J.\ed.\
Tsao, J.Y.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/21486)

Шифр в сводном ЭК: 73397c0cd4d4f5edce0ab730e7244a72

Заказать издание
Заказ фрагмента документа