Полное описание

Савенко, А. Ю. Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. Ю. Савенко. - СПб., 2008. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18(12 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар09-2867)

Шифр в сводном ЭК: 71e60ffa304256f380ffaa0dd6e7ecd3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽