Полное описание

Яшин, К. Д. Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / К. Д. Яшин. - Минск, 1990. - 25 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)
47.33.31

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-011080)

Шифр в сводном ЭК: 715b55810cf80e8c0c93c0db0ae523c0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа