Полное описание

712973
Зебрев, Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Г. И. Зебрев. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 243 с. : ил. - (Нанотехнологии). - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712973 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр.: с. 225-232. - ISBN 978-5-00101-830-8 : Б. ц.

	УДК
	121.382(075)620.3(075)

	ББК
	32.844.2я73

Кл.слова (ненормированные): Учебник для высшей школы
Аннотация: Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712973

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация