Полное описание

Середин, Л. М. Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / Л. М. Середин. - Новочеркасск, 2000. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 19-20(20 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-4711)

Шифр в сводном ЭК: 70df436a796bd314dae934140ad87cc8

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽