• ВХОД

    •  

    Полное описание

    El-Kareh, B. Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies / B. El-Kareh ; SpringerLink (Online service). - Boston, Ma : Springer, 2009. - on-line. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0. - ISBN 978-0-387-36798-9. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382-047.84

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 621.382-047.84-316068)

    Шифр в сводном ЭК: 706d8ff78a38bbac744acc34de9c6aa8



    Просмотр издания