Полное описание

Конончук, О. В. Количественные измерения локальных электрофизических свойств полупроводников в растровом электронном микроскопе : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / О. В. Конончук. - Черноголовка, 1994. - 17 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т пробл.технологии микроэлектроники и особочистых материалов. Библиогр.: с.16-17(14 назв.)

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:537(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-1078)

Шифр в сводном ЭК: 6ea9e166b3552bd752c840c1edff64da

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽