Полное описание
> Сухорукова, М. В. Исследование оптических постоянных полупроводниковых материалов и структур методом спектроэллипсометрии : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.03 / М. В. Сухорукова. - СПб, 1992. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Ин-т точной механики и оптики. Библиогр.: с. 18-19(12назв.).
ГРНТИ | УДК | |
47.33 | 621.315.592.9(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-9965)>
Шифр в сводном ЭК: 6e20c50787b197d76dcc5e854d039d26
Заказ фрагмента документа ₽