Полное описание

Енишерлова-Вельяшева, К. Л. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / К. Л. Енишерлова-Вельяшева. - М., 1998. - 46 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :Гос. унитарное предприятие НПП Пульсар. Библиогр.:с. 42-46(61 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.004.6(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-6220)

Шифр в сводном ЭК: 6dc9a06c4c8eb202dc44345173619f16

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽