Полное описание

Каракеян, В. И. Научные основы нормализации основных параметров микроклимата технологии интегральных схем в чистых производственных помещениях : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. И. Каракеян. - М., 1994. - 43 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с.39-43 (40 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	697.9:621.38(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0364)

Шифр в сводном ЭК: 6ca960d260efc87d4ab9110642c57942

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽