Полное описание

Tolksdorf, R. Synthese und Erprobung neuer Precursoren fur die CVD-Abscheidung von III/V-Halbleitern / R. Tolksdorf. - K@:oln : [s. n.], 1997. - 104 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.97-104

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/19897)

Шифр в сводном ЭК: 6c0d0c5824de0a2d20ba673efb106ab1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽