Полное описание

Ирха, В. А. Методика нанесения нанолитографического рисунка методом электронно-стимулированного осаждения / В. А. Ирха, В. Н. Лозовский. - Текст : непосредственный // Микроэлектронные информационно-управляющие системы и комплексы. - Новочеркасск, 2011. - С. 116-119. - Библиогр.: 3 назв.
ГРНТИ 47.13.17

Аннотация: Предложен метод электронной литографии, основанный на эффекте электронно-стимулированного осаждения вещества на поверхность твердых тел. Сущность данного метода заключается в непосредственном нанесении литографического рисунка из маскирующего материала на поверхность полупроводниковой пластины остросфокусированным пучком электронов без использования фоторезиста.
Доп. точки доступа:
Лозовский, В.Н.


Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -968877-607331)

Шифр в сводном ЭК: 6b8584f170a84e344282bb5109012d99

Заказать издание
Заказ фрагмента документа