Полное описание

Масленицын, С. Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой. - Ярославль : [б. и.], 1990. - 32 с. - (Препринт / Институт микроэлектроники и информатики(Ярославль) ; 14(1990)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 30-32 (44 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.35	621.3.049.77-047.84:776(04)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Травление
Фотолитография

Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Световой, В.Б.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/48895/14(1990))

Шифр в сводном ЭК: 6a2a56e4676b9183f96f76ae29162b4e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽