Полное описание

Ковалгин, А. Ю. Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / А. Ю. Ковалгин. - СПб., 1995. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16(7назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-530)

Шифр в сводном ЭК: 697f021856a7c5209c1edc9ab9be78d1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽