Полное описание

697595
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2022. - 268 с. : ил., табл., схем. - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр.: с. 263-264. - ISBN 978-985-895-032-3 : Б. ц.

	УДК
	621.315(076)

	ББК
	32.844.1я723

Кл.слова (ненормированные): Учебник для средних специальных учебных заведений
Аннотация: В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Доп. точки доступа:
Камлюк, Д. В.

https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=697595

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация