Полное описание

Зырянов, С. М. Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.08 / С. М. Зырянов. - 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 . - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.13	621.3.049.77-047.84(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-18586)

Шифр в сводном ЭК: 696844f6a646bd2dd3bc3480240a842d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа