Полное описание

68508
Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие / Кручинин Д. Ю. - Екатеринбург : Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ, 2014. - 52 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/68508.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-7996-1110-1 : Б. ц.

Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	776

	ББК
	37.83я73

Кл.слова (ненормированные): зеркальное покрытие -- маскирующее покрытие -- оптическая деталь -- оптическая шкала -- производство детали -- фотолитографическая технология -- фотолитографическое оборудование -- фотолитография -- фоторезист -- фотошаблон
Аннотация: Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.
Доп. точки доступа:
Фарафонтова, Е. П.

Перейти к просмотру издания
Обложка книги

Просмотр издания ЭБС IPR SMART