Полное описание
>
Laconte, J. Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration / J. Laconte, D. Flandre, J. -P. Raskin. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2006. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0. - ISBN 0-387-28843-0.
ГРНТИ | УДК | |
50.09.37 | 681.586 | |
47.33 | 621.315.592.9 |
Рубрики:
Датчики
Кремниевые структуры
Доп. точки доступа:
Flandre, D.
Raskin, J.-P.
SpringerLink (Online service)
>
http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0
Просмотр издания