• ВХОД
  •  

    Полное описание

    681.586/L12-991959
    Laconte, J. Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration / J. Laconte, D. Flandre, J. -P. Raskin. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2006. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0. - ISBN 0-387-28843-0.
    ГРНТИ УДК
    50.09.37681.586
    47.33621.315.592.9

    Рубрики:
    Датчики
    Кремниевые структуры

    Доп. точки доступа:
    Flandre, D.
    Raskin, J.-P.
    SpringerLink (Online service)
    Экз-ры полностью 681.586/L12-991959
    http://dx.doi.org/10.1007/0-387-28843-0



    Просмотр издания