Полное описание

Slowinski, B. Deep ion implantation: advantages and current problems / B.Slowinski. - Dubna : [s. n.], 1998. - 4 p. : il. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Е14-98-379). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.793.184(04)

Рубрики:
Ионное внедрение

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Е14-98-379)

Шифр в сводном ЭК: 66187022a7e606e4dce1c6cac788e5a4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽