Полное описание

Solid state phenomena : материалы временных коллективов. - Stafa-Zuerich : Trans tech publ., 2007 - . - Текст : непосредственный.
Vol. 145-146 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX : 9th Intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS) held in Bruges, Belgium, Sept. 22-24, 2008 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th; 2008; Bruges) ; ed. P. Mertens [et al.]. - 2009. - XVI, 400 p. : ill. - Библиогр. в конце докл. Указ.: с. 393-400

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592-047.84(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Mertens, P.\ed.\
International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th ; 2008 ; Bruges)

Имеются экземпляры в отделах: всего -20101111 : ХР (-20101112), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/18265/145-146)

Шифр в сводном ЭК: 65ab6fce3c060b7116dde1352ada4b7b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽