Полное описание

Бабанов, Ю. Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой. - Ярославль : [б. и.], 1990. - 47 с. - (Препринт / Институт микроэлектроники и информатики(Ярославль) ; 16(1990)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 44-46 (42 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.794(04)

Рубрики:
Кремний -- Травление

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ -- ТРАВЛЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Световой, В.Б.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/48895/16(1990))

Шифр в сводном ЭК: 658fb2a3693c94e397ca8846cb59ea4a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽