Полное описание

MEMS Product Engineering : монография / D. Ortloff, T. Schmidt, K. Hahn [et al.]. - Vienna : Springer, 2014. - on-line. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-7091-0706-5#authorsandaffiliationsbook. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-7091-0706-5. - Текст : электронный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4
81.13.30	620.3

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ
Доп. точки доступа:
Ortloff, D.
Schmidt, T.
Hahn, K.
Bieniek, T.
Janczyk, G.

https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-7091-0706-5#authorsandaffiliationsbook

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-013557)

Шифр в сводном ЭК: 642a166820144617e047377a840a79f3

Заказать издание
Заказ фрагмента документа

Просмотр издания