Полное описание

Барыбин, А. А. Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / А. А. Барыбин, В. И. Томилин, В. И. Шаповалов; под общ. ред. А. А. Барыбина. - М. : ФИЗМАТЛИТ, 2011 (Чебоксары). - 782 с. : ил. - Библиогр.: с. 771-772 (32 назв.). Предм. указ.: с. 773-782. - 500 экз. - ISBN 978-5-9221-1321-2. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.384-047.84
47.13.07	621.3.049.76-047.84
	621.384-022.532-047.84

Рубрики:
Электронные приборы -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство

Аннотация: Общие принципы термодинамического управления равновесными и неравновесными процессами. Управление фазовыми и химическими равновесиями в технологических задачах электроники; структурными равновесиями и дефектообразованием в кристаллах; диффузионными и кинетическими процессами в технологических задачах электроники; свойствами поверхности, межфазными взаимодействиями и формированием нанообъектов.
Доп. точки доступа:
Томилин, В.И.
Шаповалов, В.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-11/83105)

Шифр в сводном ЭК: 626c50490ce5e1db997948acba290e3f