Полное описание

621.793.184/N25-404101
Nastasi, M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-45298-0. - ISBN 978-3-540-45298-0.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:669.046.5

Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение -- электронные материалы -- кремниевые интегральные схемы -- производство -- эпитаксия -- магнетронное распыление
Доп. точки доступа:
Mayer, J.W.
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-45298-0

Просмотр издания