Полное описание

621.382-047.84-316068
El-Kareh, B. Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies / B. El-Kareh. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2009. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0. - ISBN 978-0-387-36798-9.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-69010-0

Просмотр издания