Полное описание

621.315.592.9/F95-828141
Fruhauf, J. Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique : a manual of wet-etched silicon structures / J. Fruhauf. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/b138230. - ISBN 978-3-540-26876-5.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.9

Кл.слова (ненормированные): кремниевые структуры
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/b138230

Просмотр издания