• ВХОД

    •  

    Полное описание

    621.315.592:669.0/P43-987916
     Perevoschikov, V. A. Gettering defects in semiconductors / V. A. Perevoschikov, V. D. Skoupov. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - (Springer series in advanced microelectronics, ISSN 1437-0387 ; 19). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/3-540-29499-6. - ISBN 978-3-540-29499-3.
    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.315.592:669.046.516

    Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- дефекты -- ионное внедрение
    Доп. точки доступа:
    Skoupov, V.D.
    SpringerLink (Online service)
    Экз-ры полностью 621.315.592:669.0/P43-987916
    http://dx.doi.org/10.1007/3-540-29499-6



    Просмотр издания