Полное описание
>
MEMS: a practical guide to design, analysis, and applications / ed. J. G. Korvink, O. Paul. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-33655-6. - ISBN 978-3-540-33655-6.
ГРНТИ | УДК | |
45.53 | 621.31-181.4 |
Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- проектирование -- анализ -- применение
Доп. точки доступа:
Korvink, J.G.\ed.\
SpringerLink (Online service)
>
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-33655-6
Просмотр издания