Полное описание
>
Santos, H. J. Principles and applications of nanomems physics / H. J. Santos. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2005. - (Microsystems, ISSN 1389-2134 ; 15). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/b136228. - ISBN 978-0-387-25834-8.
ГРНТИ | УДК | |
45.53 | 621.31-181.4 | |
620.3 |
Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- нанотехнологии
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)
>
http://dx.doi.org/10.1007/b136228
Просмотр издания