Полное описание

620.3-290238
Gao, W. Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing / W. Gao. - Electronic text data. - London : Springer, 2010. - (Springer series in advanced manufacturing, ISSN 1860-5168 ; 0). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4. - ISBN 978-1-84996-254-4.

ГРНТИ	УДК
81.13.30	620.3

Кл.слова (ненормированные): точная нанометрология -- датчики -- измерительные системы -- нанотехнологии
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4

Просмотр издания