Полное описание

620.3/M18-995575
Mahalik, N. P. Micromanufacturing and nanotechnology / N. P. Mahalik. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - URL: http://dx.doi.org/10.1007/3-540-29339-6. - ISBN 978-3-540-29339-2.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4
81.13.30	620.3

Кл.слова (ненормированные): микросистемотехника -- нанотехнологии
Доп. точки доступа:
SpringerLink (Online service)

http://dx.doi.org/10.1007/3-540-29339-6

Просмотр издания