Полное описание

Бахвалов, С. Г. Обеспечение чистых технологий : учеб. пособие к курсу "Материаловедение полупроводников и диэлектриков". Курс 5, семестр 10 / С. Г. Бахвалов, И. П. Бахвалова, Е. П. Красикова. - Красноярск : [б. и.], 2000. - 174 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - 100 экз. - ISBN 5-7638-0246-2. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Краснояр. гос. ун-т, Н.-и. инж. центр "Кристалл". Библиогр.:с. 171 (12 назв.)

ГРНТИ	УДК
67.53.15	697.9

Рубрики:
Стерильные помещения

Доп. точки доступа:
Бахвалова, И.П.
Красикова, Е.П.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-00/65819)

Шифр в сводном ЭК: 61b9b51bbcf7ed86c03df303aeb04a13

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽