Полное описание

Курочка, А. С. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. С. Курочка. - 2013. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-24 (16 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.01.81	621.315.592.9-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные): МДП-СТРУКТУРЫ -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ -- ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: Установление особенностей и возможности использования ионно-электронной эмиссии для неразрушающего контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления тонкопленочных гетерокомпозиций металл - диэлектрик - полупроводник.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-5226)

Шифр в сводном ЭК: 61341b340193ee2a02cd5ad98b6f00c7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽