Полное описание

Kwatera, A. Modelowanie chemicznego procesu osadzania cienkich warstw z fazy gazowej w warunkach kontrolowanych dyfuzja reagentow do podloza / A.Kwatera. - Krakow : [s. n.], 1991. - 108 s. : il. - (Zeszyty naukowe / Akademia gorniczo-hutnicza im.Stanislawa Staszica(Krakow) ; 1438) (Ceramika ; z.62). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.в конце книги
Перевод заглавия: Моделирование химического процесса осаждения тонких слоев в газовой фазе в контролируемых условиях диффузии реагентов на подложке

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/122/1438/62)

Шифр в сводном ЭК: 6080f8ce7e71b0ace60c4c2a2122e27b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа