Полное описание
> Two-wavelength laser-induced dissociation of silicon tetrafluoride with CW CO-lasers / M.Ehbrecht,F.Huisken,N.A.Karpov и др. - Moscow : [s. n.], 1995. - 27 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 24(1995)). - 45 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
31.15.29 | 546.28'161:542.65(04) |
Рубрики:
Кремний, фториды -- Осаждение
Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ФТОРИД
Доп. точки доступа:
Ehbrecht, M.
Huisken, F.
Karpov, N.A.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/24(1995))>
Шифр в сводном ЭК: 5d1744ff6605fed2428e1a9d0862fead
Заказ фрагмента документа ₽