Полное описание

Key engineering materials : материалы временных коллективов. - Stafa-Zurich : Trans tech publ., 20 - . - ISSN 1013-9826. - Текст : непосредственный.
Vol. 459 : Silicon science and advanced micro-device engineering I : sel., peer rev. papers from the 5th Intern. symp. on silicon science and the 1st Intern. conf. on advanced micro-device eng. (ISSS & Amde 2009), was held by the Intern. education and research center for silicon science and the advanced technology research center (ATEC), Gunma Univ. on 10 and 11 Dec. 2009 in Kiryu, Japan / International symposium on silicon science (5th; 2009; Kiryu); International conference on advanced micro-device engineering (1st; 2009; Kiryu) ; ed.: O. Hanaizumi, M. Unno. - 2011. - XII, 282 p. : ill. - Библиогр. в конце докл. Указ.: с. 277-282. - ISBN 978-0-87849-217-6

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76-047.84(063)
47.09.29	621.315.592(063)
31.17.15	546.28(063)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Кремний -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Hanaizumi, O.\ed.\
International symposium on silicon science (5th ; 2009 ; Kiryu)
International conference on advanced micro-device engineering (1st ; 2009 ; Kiryu)

Имеются экземпляры в отделах: всего -20111106 : ПНТ (-20111107), (1)
Свободны: ПНТ (1), (1)
Копия:

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/15808/459)

Шифр в сводном ЭК: 5d080429ddbd82902018161a6be19d27

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽