• ВХОД

    •  

    Полное описание

    International workshop on materials for advanced metallization (2010 ; Mechelen (Malines)). The 2010 International workshop on materials for advanced metallization, was held from Mar. 7th to Mar. 10th in Mechelen (Malines), Belgium / International workshop on materials for advanced metallization (2010; Mechelen (Malines)) ; ed.: Y. Travaly, C. Detavernier. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2011. - VIII, 536-845 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 2011, Vol. 88, iss. 5). - Библиогр. в конце ст. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84:621.793(062)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Металлизация -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Travaly, Y.\ed.\
    Detavernier, C.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2011, Vol. 88, iss. 5)

    Шифр в сводном ЭК: 5beeab56b4565c056f1a2f46310416aa