Полное описание

Казаков, А. И. Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.06 / А. И. Казаков. - М., 1992. - 36 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 33-36(39назв.).

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76.002(043)
47.09.29	621.315.592.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-7787)

Шифр в сводном ЭК: 5a9d63c66a2541ca93847be597e45657

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽