Полное описание

Металлизация ультрабольших интегральных схем : учеб. пособие / Д. Г. Громов [и др.]. - М. : Бином. Лаб. знаний, 2009 (Ульяновск). - 277 с. - Библиогр.: с. 265-277. - 1000 экз. - ISBN 978-5-94774-904-5. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002:621.793

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Доп. точки доступа:
Громов, Д.Г.
Мочалов, А.И.
Сулимин, А.Д.
Шевяков, В.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/56389)

Шифр в сводном ЭК: 5a577b93a603dd6f00f51aacee6db25a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽