Полное описание

Ким Чжон Суп. Моделирование процесса осаждения и разработка методов контроля градиентных пленок в процессе осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.11.07 / Ким Чжон Суп. - СПб, 1998. - 17 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн. ун-т). Библиогр.:с. 17(7 назв.)

ГРНТИ	УДК
81.37.15	681.7.064.45.02(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР99-974)

Шифр в сводном ЭК: 59c1d06798b5c2f07a143ca9cca97627

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽