Полное описание

Казаков, Ю. В. Физико-химические основы эпитаксии нитрида алюминия на наноразмерных покрытиях на кремнии / Ю. В. Казаков. - Текст : непосредственный // Техника и технология : новые перспективы развития : материалы II Междунар. науч.-практ. конф. (30.06.2011). - М., 2011. - С. 23-24.
ГРНТИ 47.03.13

Кл.слова (ненормированные): нитрид галлия
Аннотация: Рассмотрены энергетические аспекты образования зародышей (наноразмерных островков) слоев нитридов алюминия и галлия на чистом кремнии и на защитных покрытиях на кремнии.

Имеются экземпляры в отделах: всего -20111030 : ХРЦ (-20111030)
Свободны: ХРЦ (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -954598-835322)

Шифр в сводном ЭК: 59b34c0aae9b42150d5e7fd191a8f661

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽