Полное описание

Технология микроклимата чистых помещений микроэлектроники : учебное пособие / В. И. Каракеян, Н. М. Ларионов, А. С. Рябышенков, Ю. И. Штерн ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2019. - 119 с. : ил. - Библиогр.: с. 115-117 (25 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7256-0907-3. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
67.53.25	697.9:621.38

Рубрики:
Предприятия электронной промышленности -- Вентиляция
Стерильные помещения

Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.
Ларионов, Н.М.
Рябышенков, А.С.
Штерн, Ю.И.
"МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/71746)

Шифр в сводном ЭК: 59aac62655e22a09a71f3ba4cb3052c0

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽