Полное описание

Процессы микро- и нанотехнологий : метод. указ. к лаб. работам / сост. П. Ю. Белявский [и др.] ; Сост. П. Ю. Белявский. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2013. - 67 с. - Библиогр. в конце ст. - 70 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Санкт-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"

ГРНТИ	УДК
81.13.30	620.3

Рубрики:
Нанотехнологии

Аннотация: Рассмотрены основные этапы выполнения лабораторных работ по курсу "Процессы микро- и нанотехнологии". Приведено краткое описание физических моделей, лежащих в основе различных технологических режимов напыления и осаждения металлических и диэлектрических пленок, а так же процессов ионного и химического травления. Приведена методика расчета технологических процессов режимов осаждения пленок, на основе которых составляются рекомендации для реальных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения и характеристики элементов для выполнения расчетов.
Доп. точки доступа:
Белявский, П.Ю.\сост.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-13/6273)

Шифр в сводном ЭК: 597cea0380943f981e58a48c23d7c1b7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽