Полное описание

Методы и средства контроля технологий, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике : межвуз. сб. науч. тр. / Московский гос. ин-т электронной техники (техн. ун-т) ; под ред. В. И. Каракеяна. - М. : МИЭТ, 2009 (М.). - 195 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - 70 экз. - ISBN 978-5-7256-0557-0. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Технический контроль

Доп. точки доступа:
Каракеян, В.И.\ред.\
Московский гос. ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-09/65493)

Шифр в сводном ЭК: 596cd6404d88ab2dcdb65842615ee4b2

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽