Полное описание

Eguchi, N. Untersuchung von Kontaminationsreaktionen bei PVD-Prozessen in einer UHV-Magnetronsputteranlage mit In-situ-AES-Analyse und plasmaanalytischen Methoden : Diss. / N.Eguchi. - Stuttgart, 1991. - 90 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.87-90

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.74(043)
55.20.15

Рубрики:
Металлизация плазменная

Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМЕННАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/16835)

Шифр в сводном ЭК: 5819af3609cdbb459ac4957b686f2f95

Заказать издание
Заказ фрагмента документа