Полное описание

576449
Остертак, Д. И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Д. И. Остертак ; Новосибирский государственный технический университет. - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. - 121 с. : ил., табл., схем., граф. - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=576449 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр.: с. 114. - ISBN 978-5-7782-2901-3 : Б. ц.

	УДК
	621.314(075.8)

	ББК
	32.844.1я73

Кл.слова (ненормированные): Учебник для высшей школы
Аннотация: Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения.Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».
https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=576449

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация